蒸鍍機 Evaporation
T550I 銦點陣專用電阻蒸發系統
T550I 銦點陣專用電阻蒸發系統
T550I 型是一款專用銦點陣蒸發系統，適合Indium Bump點陣工藝，及紅外、量子、顯示等晶片科研及生產。
詳細介紹
• 適合Indium Bump點陣工藝
• 適用於紅外、量子、顯示等行業晶片的科研及生產
T550I 型的銦熔點156.61℃，非常容易形成液態，我們用的圓筒狀雙層電阻蒸發坩堝，能夠使銦整體受熱均勻，平緩的整體達到揮發溫度，不容易形成液滴，適合銦柱點陣的生長。
雙層電阻蒸發可達60cc，這樣可以在整體加熱的情況下保證比較高的生長速率，適當條件下可以達到5nm/s，可以很快的生長比較厚 的銦膜，適合高品質銦膜工藝。
由於蒸銦過程中溫度越低，銦柱生長的越好；大功率電子束髮熱很嚴重，會導致爐內樣品部分溫升，影響銦膜品質；而用雙層電阻坩堝，對外界的輻射熱較少， 比較適合低溫工藝。